1. Slide 1Mikrosysteme – Soft Lithographie
GrundlagenGrundlagen
Mikro- und NanosystemeMikro- und Nanosysteme
Mikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und MedizinMikro- und Nanosysteme in der Umwelt, Biologie und Medizin
Soft LithographieSoft Lithographie
Dr. Marc R. DusseillerDr. Marc R. Dusseiller

2. Slide 2Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographieSoft Lithographie
PDMSPDMS
Replica MoldingReplica Molding
MicroContactPrintingMicroContactPrinting
etc.etc.

3. Slide 3Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographieSoft Lithographie
• Techniken für die Mikrostrukturierung, wie Stempeln und Giessen,Techniken für die Mikrostrukturierung, wie Stempeln und Giessen,
mittels einem elastomeren strukturierten Materialmittels einem elastomeren strukturierten Material
• Techniken für die Strukturierung von komplexen Biomolekülen undTechniken für die Strukturierung von komplexen Biomolekülen und
Biologischen Einheiten (Zellen, Gewebe etc.)Biologischen Einheiten (Zellen, Gewebe etc.)
• MaterialMaterial PDMS (Polydimethylsiloxan)PDMS (Polydimethylsiloxan)
Viele Anwendungen in BiologieViele Anwendungen in Biologie
Einfaches PrototypingEinfaches Prototyping
TransparentTransparent
Weich / SoftWeich / Soft
BiokompatibelBiokompatibel
• Replica MoldingReplica Molding
• Micro Contact Printing (μCP)Micro Contact Printing (μCP)
• Micro Transfer Molding (μTP)Micro Transfer Molding (μTP)
• Micro Molding in Capillaries (MIMIC)Micro Molding in Capillaries (MIMIC)
• Micro Fluidic Networks (μFN)Micro Fluidic Networks (μFN)

4. Slide 4Mikrosysteme – Soft Lithographie
PDMS – Chemische StrukturPDMS – Chemische Struktur

5. Slide 5Mikrosysteme – Soft Lithographie
PDMS - Mechanische EigenschaftenPDMS - Mechanische Eigenschaften

6. Slide 6Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographySoft Lithography
Replica MoldingReplica Molding
• Herstellung der strukturierten PDMS AbgussHerstellung der strukturierten PDMS Abguss
• Strukturierung des Masters (Si, klassisch)Strukturierung des Masters (Si, klassisch)
• Silanisierung (anit-Haft)Silanisierung (anit-Haft)
• Abguss des PDMSAbguss des PDMS
• Curing (Aushärten)Curing (Aushärten)
• Peel-off (abzeihen)Peel-off (abzeihen)
• Erstellen eines zweiten AbgussErstellen eines zweiten Abguss
• GiessenGiessen
• HärtenHärten
• AusformenAusformen

7. Slide 7Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographySoft Lithography
Micro Contact Printing (Micro Contact Printing (μμCP)CP)
• Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS
• Vorbereiten der „Tinten“-LösungVorbereiten der „Tinten“-Lösung
• zB. SAMs (Thiole, ODT), Proteine etc.zB. SAMs (Thiole, ODT), Proteine etc.
• Benetzen des PDMS StempelsBenetzen des PDMS Stempels
• EintaucheEintauche
• WaschenWaschen
• TrocknenTrocknen
• Stempeln (Printing)Stempeln (Printing)

8. Slide 8Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographySoft Lithography
Micro Transfer Molding (Micro Transfer Molding (μμTP)TP)
• Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS
• Einfüllen des Pre-PolymerEinfüllen des Pre-Polymer
• Entfernen des ÜberschussEntfernen des Überschuss
• Aufbringen des gefüllten PDMS aufAufbringen des gefüllten PDMS auf
SubstratSubstrat
• Aushärten des PolymersAushärten des Polymers
• Entfernen des PDMS MastersEntfernen des PDMS Masters

9. Slide 9Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographySoft Lithography
Micro Molding in Capillaries (MIMIC)Micro Molding in Capillaries (MIMIC)
• Herstellung der strukturierten PDMSHerstellung der strukturierten PDMS
• Platzieren des PDMSPlatzieren des PDMS
• Offene KanäleOffene Kanäle
• Anbringen eines TropfensAnbringen eines Tropfens
• Kappilare Füllung der KanäleKappilare Füllung der Kanäle
• Aushärten oder Adsorbtion aus LösungAushärten oder Adsorbtion aus Lösung
• (Waschen)(Waschen)
• Entfernen des PDMS MastersEntfernen des PDMS Masters

10. Slide 10Mikrosysteme – Soft Lithographie
Soft LithographySoft Lithography
Micro Fluidic Networks (Micro Fluidic Networks (μμFN)FN)