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10.
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12.
13.
14.
Modes et
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15.
Défaillance de
l’interrupteur
16.
17.
18.
Type 2: Lorsque
l’interrupteur de puissance est en conduction
19.
20.
Modes et
types
21.
Défaillance de
l’interrupteur
22.
23.
24.
25.
Modes et
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26.
Défaillance de
l’interrupteur
27.
28.
29.
Comportement statique
30.
Comportement dynamique
31.
32.
Intégration aisée
dans un processus d’IGBT
33.
34.
35.
Comportement statique
36.
Comportement dynamique
37.
38.
39.
Comportement statique
40.
Comportement dynamique
41.
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43.
Régime permanent
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Charge capacitive
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45.
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la charge en 0.2µs
46.
47.
48.
Comportement statique
49.
Comportement dynamique
50.
51.
52.
Validation par
simulations 2D
53.
Réalisation technologique
54.
55.
56.
Validation par
simulations 2D
57.
Réalisation technologique
58.
59.
60.
Validation par
simulations 2D
61.
Réalisation technologique
62.
63.
64.
Validation par
simulations 2D
65.
Réalisation technologique
66.
67.
68.
Validation par
simulations 2D
69.
Réalisation technologique
70.
71.
72.
Validation par
simulations 2D
73.
Réalisation technologique
74.
75.
Compromis VON/RON
amélioré
76.
Compatible auto
alignement
77.
78.
79.
Validation par
simulations 2D
80.
Réalisation technologique
81.
82.
83.
Validation par
simulations 2D
84.
Réalisation technologique
85.
86.
87.
Validation par
simulations 2D
88.
Réalisation technologique
89.
90.
91.
Validation par
simulations 2D
92.
Réalisation technologique
93.
94.
VBR≈ 35V
95.
96.
Validation par
simulations 2D
97.
Réalisation technologique
98.
99.
VBR≈ 320V
100.
101.
Validation par
simulations 2D
102.
Réalisation technologique
103.
104.
105.
Validation par
simulations 2D
106.
Réalisation technologique
107.
108.
Tranchées 20µm
109.
Saturation en P+
110.
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111.
Gravure face arrière
en fin de process
112.
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113.
Motifs S.O.I
en utilisant le procédé LEGO
114.
Isolations par
jonctions ou par tranchées
115.
Murs traversants
dopés P+
116.
Tranchées traversantes
117.
Saturation en P+
118.
Redistribution
119.
Passivation face arrière
120.
3 techniques déjà
éprouvées pour la réalisation de dispositifs de puissance
121.
Compatibilité avec la
filière spécifique développée au LAAS
122.
123.
Validation par
simulations 2D
124.
Réalisation technologique
125.
126.
127.
Validation par
simulations 2D
128.
Réalisation technologique
129.
130.
131.
Validation par
simulations 2D
132.
Réalisation technologique
133.
134.
Pic de
VG ~ 12V
135.
Pic IA
~ 10A
136.
Effective en
0,8μs
137.
S.O.I
138.
Pic de
VG ~13,5V
139.
Pic IA
~ 14A
140.
141.
Validation par
simulations 2D
142.
Réalisation technologique
143.
144.
Pic de
IA < 4,9A
145.
146.
147.
Validation par
simulations 2D
148.
Réalisation technologique
149.
150.
151.
Etape lourde
en fin de process
152.
153.
154.
155.
156.
Validation intérêt
157.
Simulation 2D,
validation concept
158.
159.
160.
Validation intérêt
161.
Simulation 2D,
validation concept
162.
163.
EOFF élevé
164.
IGBT rapide
165.
VON élevé
166.
167.
168.
Validation intérêt
169.
Simulation 2D,
validation concept
170.
171.
172.
173.
Validation intérêt
174.
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validation concept
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181.
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182.
Simulation 2D,
validation concept
183.
184.
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185.
Simulation 2D,
validation concept
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187.
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Anode lent
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