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Vacío      Presiones inferiores a la atmosférica, pero especialmente las mucho menores            Presión     Presión     ...
Niveles de vacío
Historia del vacío                     Evangelista                     Torricelli (1608-                     1647)
Hemisferios de Magdeburgo 1654Otto van Guerickeb. Nov. 20, 1602, Magdeburg, Prussian Saxony [now in Germany]d. May 11, 168...
Historia del Vacío II
Características físicas vs. presion
Elementos fundamentales de un sistema de vacío
¿Qué limita el vacío último?Bajar la presión aproxima a la zonagaseosa en cualquier material.En último extremo, el materia...
Sistemas de medida de presiónTotal                              Parcial
Rangos de uso
Vacuómetros clásicosPirani                        De termopar                    PenningVacuómetro de                 Anál...
Bombas de Vacío (mecánicas)
Bombas de Vacío (mecánicas)
Bombas de vacío (Difusora)
Bombas de Vacío (turbomolecular)
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Vacio 2012-13

  1. 1. Breve introducción a la tecnología del VACÍO, y su medida. Joaquín Sevilla Moróder Departamento Ingeniería Eléctrica y Electrónica Marzo, 2013
  2. 2. Vacío Presiones inferiores a la atmosférica, pero especialmente las mucho menores Presión Presión manométrica absolutaPresión Presión Atmosférica (barométrica) Vacío (presión manométrica negativa) Presión absoluta Cero absoluto
  3. 3. Niveles de vacío
  4. 4. Historia del vacío Evangelista Torricelli (1608- 1647)
  5. 5. Hemisferios de Magdeburgo 1654Otto van Guerickeb. Nov. 20, 1602, Magdeburg, Prussian Saxony [now in Germany]d. May 11, 1686, Hamburg, Germany http://chem.ch.huji.ac.il/~eugeniik/history/guericke.html
  6. 6. Historia del Vacío II
  7. 7. Características físicas vs. presion
  8. 8. Elementos fundamentales de un sistema de vacío
  9. 9. ¿Qué limita el vacío último?Bajar la presión aproxima a la zonagaseosa en cualquier material.En último extremo, el material de lacámara de vacío se evapora hacia elinterior. ¿Porqué no hay televisiones con el tubo (CRT) de plástico?
  10. 10. Sistemas de medida de presiónTotal Parcial
  11. 11. Rangos de uso
  12. 12. Vacuómetros clásicosPirani De termopar PenningVacuómetro de Análogo al Pirani, más Por debajo de 10-3 Torr se automantieneconductividad térmica: un barato y con menos una descarga (por alta tensión) enhilo metálico en régimen de problemas de contaminación. presencia de un campo B (aumenta laautocalentamiento, alcanza También hay que corregir por probabilidad de ionización lasel equilibrio a mayor tipo de gas. Algo menos trayectorias helicoidales). La corrientetemparatura si la presión preciso. de descarga es proporcional a laes más baja. presión Entre 50 y 10-3 Torr.Entre 1 y 10-3 Torr. Entre 10-2 y 10-6 Torr.
  13. 13. Bombas de Vacío (mecánicas)
  14. 14. Bombas de Vacío (mecánicas)
  15. 15. Bombas de vacío (Difusora)
  16. 16. Bombas de Vacío (turbomolecular)

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