1. Научно -т ехнический Центр тонкопленочных технологий на основе кремния НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе Общество с ограниченной ответственностью "НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им. А.Ф. Иоффе"

2. Формирующие элементы и источники дохода НТЦ НТЦ СПГУ ГПУ ЛЭТИ ФТИ им. Иоффе Использование современного технологического оборудования Привлечение ведущих зарубежных специалистов Заказы на разработки технологии от производственных и инженерных компаний ГАРАНТИРОВАННЫЕ заказы на НИР и НИОКР по тонкопленочной технологии ГПУ – Санкт-Петербургский Государственный Политехнический Университет СГПУ - Санкт-Петербургский Государственный Университет ЛЭТИ – Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе

6. Основное оборудование Н ТЦ НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе № п/п Наименование Марка, производитель 1 KAI 1200 PECVD R & D System for a - Si Process / Система плазменно-химического осаждения из газовой фазы (ПХГФО) для роста a-Si Oerlikon, Switzerland 2 KAI1200 PECVD R&D System for µC-Si Process / Система плазменно-химического осаждения из газовой фазы (ПХГФО) для роста µC--Si Oerlikon, Switzerland 3 System of Laser scribing of Pattern 1,2&3 ( LSS 1200 )/ Система лазерного скрайбирования Oerlikon, Switzerland 4 TCO PM2 1200 LPCVD Deposition system foe Front & Back contact/ Система газофазного осаждения фронтального и тыльного контактов при низком давлении Oerlikon, Switzerland 5 High quality Cleaner / высококачественный очиститель подложек Oerlikon, Switzerland 6 Automated optical inspection / устройство автоматической оптической проверки Oerlikon, Switzerland 7 Комплекс оборудования для изготовления тыльной поверхности ФЭП Oerlikon, Switzerland 8 Комплект аналитического оборудования для изменения характеристик ФЭП ( QAC ) Oerlikon, Switzerland 9 Установка разделительного плазмо-химического травления и плазмо-химического осаждения Oxford, UK 10 Установка нанесения и сушки фоторезиста ATMsse GmbH, Germany 11 Установка совмещения и экспонирования USA, SUSS MicroTech 12 Оптический микроскоп с системой регистрации изображений Nikon , Japan 13 Спектрометр вынужденного комбинационного рассеяния Renishaw, UK 14 Спектрофотометр Varian , USA 15 Атомно-силовой микроскоп МНДТ, Зеленоград 16 Многокамерная установка для роста каскадных преобразователей Oxford Instruments 17 Установка магнетронного напыления Applied Materials

7. Дорожная карта НТЦ. Часть 1 НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе ДОРОЖНАЯ КАРТА ПРОЕКТА 2011 год 2012 год [ПРОЕКТ] 1 квартал 2 квартал 3 квартал 4 квартал 1 квартал 2 квартал 3 квартал 4 квартал Научно-исследовательские работы ( R&D) Подбор дополнительного оборудования Запуск основного оборудования, обучение персонала, заказ дополнительного оборудования Обучение персонала, получение дополнительного оборудования, улучшение характеристик слоев и интерфейсов на фронтальном ТСО Запуск дополнительного оборудования, разработка легированного nc-SiOx и его контакта с ZnO, изготовление лабораторного модуля с эффективностью свыше 10,3 % Запуск дополнительного оборудования, изготовление опытно-промышленных образцов, применение nc-SiOx в качестве легированных слоев, сокращение процесса изготовления 2-х каскадных модулей Улучшение характеристик слоев и интерфейсов: i-слой первого каскада, n-слой первого каскада и р-слой второго каскада, применение pc-Si в качестве легированных слоев Улучшение характеристик слоев и интерфейсов, увеличение стабильности модулей, двойное текстурирование лицевого контакта, разработка SiGe сплавов Разработка промежуточного отражателя, альтернативные ТСО, оптимизация расходных материалов для 2х каскадных ФЭП, изготовление лабораторного модуля с эффективностью свыше 11,3 % План по созданию продукции (Product Development) Разработка технологии изготовления промышленных модулей с эффективностью свыше 9,8 % Определение оптимальных поставщиков расходных материалов и минимизация их потребления при изготовлении промышленных модулей Разработка технологии изготовления промышленных модулей с эффективностью свыше 10,5 % План по защите интеллектуальной собственности и лицензированию (IP Protection & Licensing) Подготовка подачи заявки на российский патент по 2х каскадным ФЭП Подготовка подачи заявки на международный патент по 2х каскадным ФЭП Подготовка подачи заявки на российский патент по 3х каскадным ФЭП Подготовка подачи заявки на международный патент по 3х каскадным ФЭП

8. Дорожная карта НТЦ. Часть 2. НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе ДОРОЖНАЯ КАРТА ПРОЕКТА 2013 год 2014 год [ПРОЕКТ] 1 квартал 2 квартал 3 квартал 4 квартал 1 квартал 2 квартал 3 квартал 4 квартал Научно-исследовательские работы ( R&D) Применение альтернативных ТСО для изготовления ФЭП, изготовление nip структур Применение SiGe сплавов в двухкаскадных ФЭП, сокращение площади мертвых зон и оптимизация скрайбирования Исследование возможности применения фотонных кристаллов в ФЭП, применение фторсодержащих смесей для получения i-слоя второго каскада, изготовление лабораторного модуля с эффективностью свыше 12 % Изготовление трехкаскадных лабораторных ФЭП с эффективностью свыше 13 %, применение альтернативных источников легирования оксида цинка, подготовка проекта по дальнейшему улучшению 2-х каскадных модулей Снижение расходных материалов для 3х каскадных ФЭП Разработка нанокристаллических германиевых пленок Уменьшение времени процесса изготовления ФЭП, улучшение дизайна 3-х каскадных ФЭП Изготовление лабораторных трехкаскадных ФЭП с эффективностью свыше 13,8 %, План по созданию продукции (Product Development) Расчет струкутры промышленных 2-х каскадных модулей с учетом параметров освещенности в месте установки Разработка технологии изготовления промышленных модулей с эффективностью свыше 11,1 %, подведение итогов первых этапов улучшений характеристик 2-х каскадных модулей Разработка технологии изготовления промышленных 3-х каскадных модулей, снижение расходных материалов для 3х каскадных ФЭП Разработка технологии изготовления промышленных 3-х каскадных модулей с эффективностью свыше 12,3 %, подведение итогов первых этапов улучшений характеристик 3-х каскадных модулей План по защите интеллектуальной собственности и лицензированию (IP Protection & Licensing) Подготовка подачи заявки на российский патент по 2х каскадным ФЭП Подготовка подачи заявки на международный патент по 2х каскадным ФЭП Подготовка подачи заявки на российский и на международных патентов по 3х каскадным ФЭП

9. Солнечный модуль состоит из отдельных ячеек, последовательно соединенных монолитным способом при помощи проводящих контактов из ZnO Тыльный ZnO контакт Пленки кремния Лицевой ZnO контакт Стекло НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе Общие сведения: Тонкопленочные кремниевые солнечные модули Солнечная ячейка

10. Лицевой слой ZnO – оптическое окно и лицевой контакт Лицевое стекло – оптическое окно и подложка для нанесения тонких пленок Переход на a-Si:H – поглощение коротковолновой части спектра Переход на µ с -Si:H – поглощение длинноволновой части спектра Тыльный слой ZnO – тыльный контакт и отражатель, монолитное соединение ячеек Тыльный отражатель – отражение света с низким поглощением Тыльное стекло – герметизация модуля Свет НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе Общие сведения: С труктура ячейки микроморфного модуля

12. Спасибо за внимание НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им А.Ф. Иоффе Общество с ограниченной ответственностью "НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при ФТИ им. А.Ф. Иоффе"