SlideShare una empresa de Scribd logo
1 de 17
Descargar para leer sin conexión
微小試料用の
低温熱伝導率測定装置
の開発と性能評価
堀口元成
関口晃生,小野俊雄,山口博則,細越裕子(阪府大院理)
村上修一(産技研)
2016年11月25日 第15回低温工学・超伝導若手合同講演会@I-siteなんば
はじめに
1200μm
(絶縁的な)磁性体の研究
• 応用研究
電子の持つスピン自
由度を利用した
• 信号伝達
スピントロニクス
• 量子計算
• 基礎研究
本質的な量子現象
• 極限環境下の
量子相転移
• 新たな基底状態
• 励起状態
磁性体の研究手法
比熱
磁化
磁気共鳴
中性子
散乱
エネルギー構造
エントロピー変化
内部磁場
磁気構造
励起状態
×大型施設が必要
磁気モーメントの大きさ
磁気異方性
磁性体
物質開拓
物性研究の基本
熱伝導測定によるアプローチ
• 絶縁的磁性体の熱伝導:フォノン + マグノン
k = kphonon + kmagnon
局所的なエネルギー励起 交換相互作用による伝播
kmagnon = Cmaglmagvmag
• Cmag: 磁気比熱
• lmag:マグノンの平均自由行程
• vmag:マグノンの群速度 交換相互作用を反映
熱伝導測定によるアプローチ
• c-軸方向にCu2+のスピン梯子
• 熱伝導率の空間異方性
• a-軸方向:フォノンのみ
• c-軸方向:フォノン+マグノン
相互作用強度の空間異方性
vmag:マグノンの群速度
小池,川俣:J. HTSJ 50, 12 (2011)より引用
c
a
熱伝導率測定における課題
有機結晶のような脆く,小さい結晶でも
測定できるデバイスの作成
1cm
研究目的
1mm
測定デバイスの概略
• 測定系の断熱
SiO2/ SiN/ SiO2膜(1μm)
• ヒーターと温度計
NbNx半導体
熱伝導率
L:温度計間の距離(300μm)
温度計の特性
微細化が可能 低温での分解能 磁気抵抗効果が小 作成条件が容易
白金抵抗 ○ × ○ ○
熱電対 × ◎ ○ ×
CrN ○ ○ ○ ×
NbNx ○ ○ ○ ○
温度計比較
1000μm
温度計作成条件と性能
抵抗の温度変化が増大
⇒ 温度分解能の向上
400μm1000μm
NbNx温度計
12
8
4
0
Resistivity

・m]
100806040200
Temperature(K)
N2:Ar = 50%:50%
30%:70%
10%:90%
600
500
400
300
200
100
0
Resistivity

・m]
100806040200
Temperature(K)
90%:10%
N2:Ar = 100%:Ar0%
70%:30%
12
10
8
6
4
2
0
Tc[K]
100806040200
Percentage of N2[%]
800x10
-9
600
400
200
0
activationenegy[K]
Tc
activation energy
半導体
超伝導
窒化ニオブの電気特性
熱伝導率測定装置の設計
ヒーター
8mm
温度計2
V+
V−
I −
I +
V+
V+V−
V− I+
I+
I −
I−
電極(Nb)
1500μm
1700μm
900μm
作成したチップ
サンプルステージ部分
現在はまだ一部の信号線に断線あり
(フォトリソグラフィーのプロセスを修正中)
ヒーター
温度計1
温度計2
12
10
8
6
4
2
0
R[10
3

300250200150100500
T [K]
温度計2
温度計1
実装した温度計の評価
チップ1 チップ2
Quantum Design社製 PPMSにて測定
12
10
8
6
4
2
0
R[10
3

300250200150100500
T [K]
温度計2
ヒーター
標準偏差(T=3K):
∆R
R
=1.4%
12
11
10
9
8
R[10
3

12840
T [K]
温度計2
温度計1
10
100
1000
dR/dT[
2 3 4 5 6
10
2 3 4 5 6
100
2 3
T [K]
温度計1
温度計2
実装した温度計の分解能
T [K] ΔT [μK]
100 5
25 1
3 0.2
3K,25K,100Kでの
温度計の分解能
(T,dR/dT)
=(100,20)
(T,dR/dT)
=(25,100)
(T,dR/dT)
=(3,500)
熱伝導率測定に向けて
• 基板の膨張係数 〜 4 x 10-6 /K程度
1Kから300K では~ 10-4程度
• T1 – T2 ~ 0.1 K 程度とすると,
⇒ Δκ ~ 10-4 程度と評価できる。
まとめと今後の課題
• NbNx温度計の開発
スパッタ時の窒素分圧が60%以上で電気特性が
超伝導体 → 半導体
窒素分圧が100%で最も感度が向上
• 試作デバイスの評価
低温まで測定可能
異なるチップ間で良い再現性
 標準偏差(T=3K):
∆R
R
=1.4%
温度計の分解能(T=3K):ΔT = 0.2 μK
• 信号配線のフォトリソグラフィ
• 試料の接着方法(有機結晶への対応)
• 標準試料による絶対値の校正

Más contenido relacionado

Último

Último (10)

知識ゼロの営業マンでもできた!超速で初心者を脱する、悪魔的学習ステップ3選.pptx
知識ゼロの営業マンでもできた!超速で初心者を脱する、悪魔的学習ステップ3選.pptx知識ゼロの営業マンでもできた!超速で初心者を脱する、悪魔的学習ステップ3選.pptx
知識ゼロの営業マンでもできた!超速で初心者を脱する、悪魔的学習ステップ3選.pptx
 
LoRaWAN スマート距離検出デバイスDS20L日本語マニュアル
LoRaWAN スマート距離検出デバイスDS20L日本語マニュアルLoRaWAN スマート距離検出デバイスDS20L日本語マニュアル
LoRaWAN スマート距離検出デバイスDS20L日本語マニュアル
 
論文紹介:Selective Structured State-Spaces for Long-Form Video Understanding
論文紹介:Selective Structured State-Spaces for Long-Form Video Understanding論文紹介:Selective Structured State-Spaces for Long-Form Video Understanding
論文紹介:Selective Structured State-Spaces for Long-Form Video Understanding
 
論文紹介:Video-GroundingDINO: Towards Open-Vocabulary Spatio-Temporal Video Groun...
論文紹介:Video-GroundingDINO: Towards Open-Vocabulary Spatio-Temporal Video Groun...論文紹介:Video-GroundingDINO: Towards Open-Vocabulary Spatio-Temporal Video Groun...
論文紹介:Video-GroundingDINO: Towards Open-Vocabulary Spatio-Temporal Video Groun...
 
LoRaWANスマート距離検出センサー DS20L カタログ LiDARデバイス
LoRaWANスマート距離検出センサー  DS20L  カタログ  LiDARデバイスLoRaWANスマート距離検出センサー  DS20L  カタログ  LiDARデバイス
LoRaWANスマート距離検出センサー DS20L カタログ LiDARデバイス
 
Amazon SES を勉強してみる その32024/04/26の勉強会で発表されたものです。
Amazon SES を勉強してみる その32024/04/26の勉強会で発表されたものです。Amazon SES を勉強してみる その32024/04/26の勉強会で発表されたものです。
Amazon SES を勉強してみる その32024/04/26の勉強会で発表されたものです。
 
新人研修 後半 2024/04/26の勉強会で発表されたものです。
新人研修 後半        2024/04/26の勉強会で発表されたものです。新人研修 後半        2024/04/26の勉強会で発表されたものです。
新人研修 後半 2024/04/26の勉強会で発表されたものです。
 
Amazon SES を勉強してみる その22024/04/26の勉強会で発表されたものです。
Amazon SES を勉強してみる その22024/04/26の勉強会で発表されたものです。Amazon SES を勉強してみる その22024/04/26の勉強会で発表されたものです。
Amazon SES を勉強してみる その22024/04/26の勉強会で発表されたものです。
 
論文紹介: The Surprising Effectiveness of PPO in Cooperative Multi-Agent Games
論文紹介: The Surprising Effectiveness of PPO in Cooperative Multi-Agent Games論文紹介: The Surprising Effectiveness of PPO in Cooperative Multi-Agent Games
論文紹介: The Surprising Effectiveness of PPO in Cooperative Multi-Agent Games
 
Utilizing Ballerina for Cloud Native Integrations
Utilizing Ballerina for Cloud Native IntegrationsUtilizing Ballerina for Cloud Native Integrations
Utilizing Ballerina for Cloud Native Integrations
 

Destacado

Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie InsightsSocial Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
Kurio // The Social Media Age(ncy)
 

Destacado (20)

AI Trends in Creative Operations 2024 by Artwork Flow.pdf
AI Trends in Creative Operations 2024 by Artwork Flow.pdfAI Trends in Creative Operations 2024 by Artwork Flow.pdf
AI Trends in Creative Operations 2024 by Artwork Flow.pdf
 
Skeleton Culture Code
Skeleton Culture CodeSkeleton Culture Code
Skeleton Culture Code
 
PEPSICO Presentation to CAGNY Conference Feb 2024
PEPSICO Presentation to CAGNY Conference Feb 2024PEPSICO Presentation to CAGNY Conference Feb 2024
PEPSICO Presentation to CAGNY Conference Feb 2024
 
Content Methodology: A Best Practices Report (Webinar)
Content Methodology: A Best Practices Report (Webinar)Content Methodology: A Best Practices Report (Webinar)
Content Methodology: A Best Practices Report (Webinar)
 
How to Prepare For a Successful Job Search for 2024
How to Prepare For a Successful Job Search for 2024How to Prepare For a Successful Job Search for 2024
How to Prepare For a Successful Job Search for 2024
 
Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie InsightsSocial Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
Social Media Marketing Trends 2024 // The Global Indie Insights
 
Trends In Paid Search: Navigating The Digital Landscape In 2024
Trends In Paid Search: Navigating The Digital Landscape In 2024Trends In Paid Search: Navigating The Digital Landscape In 2024
Trends In Paid Search: Navigating The Digital Landscape In 2024
 
5 Public speaking tips from TED - Visualized summary
5 Public speaking tips from TED - Visualized summary5 Public speaking tips from TED - Visualized summary
5 Public speaking tips from TED - Visualized summary
 
ChatGPT and the Future of Work - Clark Boyd
ChatGPT and the Future of Work - Clark Boyd ChatGPT and the Future of Work - Clark Boyd
ChatGPT and the Future of Work - Clark Boyd
 
Getting into the tech field. what next
Getting into the tech field. what next Getting into the tech field. what next
Getting into the tech field. what next
 
Google's Just Not That Into You: Understanding Core Updates & Search Intent
Google's Just Not That Into You: Understanding Core Updates & Search IntentGoogle's Just Not That Into You: Understanding Core Updates & Search Intent
Google's Just Not That Into You: Understanding Core Updates & Search Intent
 
How to have difficult conversations
How to have difficult conversations How to have difficult conversations
How to have difficult conversations
 
Introduction to Data Science
Introduction to Data ScienceIntroduction to Data Science
Introduction to Data Science
 
Time Management & Productivity - Best Practices
Time Management & Productivity -  Best PracticesTime Management & Productivity -  Best Practices
Time Management & Productivity - Best Practices
 
The six step guide to practical project management
The six step guide to practical project managementThe six step guide to practical project management
The six step guide to practical project management
 
Beginners Guide to TikTok for Search - Rachel Pearson - We are Tilt __ Bright...
Beginners Guide to TikTok for Search - Rachel Pearson - We are Tilt __ Bright...Beginners Guide to TikTok for Search - Rachel Pearson - We are Tilt __ Bright...
Beginners Guide to TikTok for Search - Rachel Pearson - We are Tilt __ Bright...
 
Unlocking the Power of ChatGPT and AI in Testing - A Real-World Look, present...
Unlocking the Power of ChatGPT and AI in Testing - A Real-World Look, present...Unlocking the Power of ChatGPT and AI in Testing - A Real-World Look, present...
Unlocking the Power of ChatGPT and AI in Testing - A Real-World Look, present...
 
12 Ways to Increase Your Influence at Work
12 Ways to Increase Your Influence at Work12 Ways to Increase Your Influence at Work
12 Ways to Increase Your Influence at Work
 
ChatGPT webinar slides
ChatGPT webinar slidesChatGPT webinar slides
ChatGPT webinar slides
 
More than Just Lines on a Map: Best Practices for U.S Bike Routes
More than Just Lines on a Map: Best Practices for U.S Bike RoutesMore than Just Lines on a Map: Best Practices for U.S Bike Routes
More than Just Lines on a Map: Best Practices for U.S Bike Routes
 

研究紹介 (2016.11.25 低温物理学会発表スライド)