2. ÍNDICE
Procesos básicos Fabricación de la oblea
Oxidación térmica
Proceso de dopado
Implantación iónica
Difusión
Fotolitografía Eliminación de película
delgada
Deposición de película delgada
Secuencia de procesos CMOS (flujo de
procesos)
3. Que es? Es una pastilla pequeña de material
semiconductor de algunos milímetros de área, sobre la
que se fabrica circuitos electrónicos mediante
fotolitografías y que esta protegida dentro de un
capsulado de plástico y cerámica