Este documento resume el funcionamiento de una cámara de deposición por pulverización catódica magnétron para depositar películas delgadas. Describe brevemente (1) el esquema de la cámara y sus componentes principales como el magnetrón, la ventana de berilio y el sensor de vacío, (2) los espectros de difracción de rayos X que muestran la estructura cristalina de las películas depositadas, y (3) un gráfico que relaciona el espesor de las muestras con el tiempo

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Magnetron
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Ventana de Be
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Muestra
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Figura 1: Esquema de la cámara y su funcionamiento
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Q7(Q A " -#5# 1* -# "!+
A !+ -# - L 1* 6 ; ;8 Magnetron
6;; (8 4 6 ; 8 -#" "
Rayo X difractado Figura 4: Espectro de difracción de rayos X con incidencia rasante sobre las películas depositadas sobre Si(100) en a)
y depositadas sobre Si(111) en b)
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Rayo X incidente
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Magnetron
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Sensor
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Ventana de
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Entrada
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Posicionador
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Figura 3: Imagen de la cámara y
detalle de sus componentes :" * !7+)+5 5!
Figura 2: Imagen de la cámara
Figura 5: Gráfico de los espesores de las muestras
En función del tiempo de deposición
Agradecimientos
J Los autores agradecen al Consejo Nacional de Investigaciones
Científicas y Técnicas. Al Instituto de Física de Rosario. A la Universidad
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)2 Nacional de Rosario. Al Lic. Lucio Isola, Javier Cruceño, Horacio Merayo.
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