La técnica de fluorescencia de rayos X involucra irradiar una muestra con radiación electromagnética, causando que los electrones de los átomos pasen a estados de mayor energía. Cuando los electrones regresan a su estado basal, liberan energía en forma de fluorescencia de rayos X. La longitud de onda única de los rayos X emitidos permite la identificación cualitativa de los elementos, mientras que la intensidad de los rayos X permite el análisis cuantitativo.